深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务,并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案 半导体设备零配件、半导体设备零配件、技术服务
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